(carbon doped oxide, CDO) Oxid, das u.a. dank eines Kohlenstoffzusatzes eine geringe Dielektrizitätskonstante aufweist. Es findet daher als Low-k-Schicht in der Halbleitertechnik Einsatz.
(carbon doped oxide, CDO) Oxid, das u.a. dank eines Kohlenstoffzusatzes eine geringe Dielektrizittskonstante aufweist. Es findet daher als Low-k-Schicht in der Halbleitertechnik Einsatz.